Osnovna oprema automatizirane proizvodne linije za PR čišćenje za proizvođače LCD zaslona
Automatizirana proizvodna linija za čišćenje PR (fotorrezista) je osnovna oprema za mokri proces u proizvodnji LCD zaslona. Prvenstveno se koristi nakon procesa fotolitografije na supstratu niza za temeljito uklanjanje zaostalog fotorezista, ostataka jetkanja i površinskih mikro-kontaminanata. To je ključna oprema za osiguravanje preciznosti sklopa ploče i poboljšanje prinosa proizvoda. Savršeno prikladan za strogu proizvodnu okolinu čistih soba klase 100, postiže visoko-precizne, automatizirane-bez zagađenja zatvorene-postupke čišćenja.
Usmjeravajući se na pozitivne i negativne ostatke fotootpornog materijala nakon procesa fotolitografije, koristi više{0}}stupanjsko ultrazvučno čišćenje + postupak ispiranja preljevom čistom vodom za dubinsko uklanjanje krhotina, organskih kontaminanata, čestica prašine i drugih nečistoća preostalih nakon fotolitografskog jetkanja. Može temeljito ukloniti mikroskopske ostatke ispod 0,5 μm, sprječavajući nedostatke kao što su otvoreni krugovi na ploči, svijetle točke i Mura mrlje uzrokovane nečistoćama. U kombinaciji s 0,1 μm visoko{6}}preciznim sustavom filtriranja, sprječava sekundarnu kontaminaciju. Omogućuje temeljito uklanjanje-bez oštećenja, izbjegavajući utjecaj zaostalih slojeva ljepila na naknadne procese jetkanja i premazivanja, uz stopu pokrivenosti uklanjanja od 100%.
Ugrađeni-elektrostatski upravljački modul ESD strogo kontrolira elektrostatičku vrijednost unutar raspona manjeg ili jednakog ±100V. U kombinaciji s anti-statičkim materijalom s šupljinom i tehnologijom isporuke be-kontaktnog magnetskog kotača, izbjegava elektrostatičko pražnjenje od oštećenja preciznog sklopa ploče, dok također sprječava ogrebotine, lomljenje i stvaranje prašine od trenja na staklenoj podlozi, čime se maksimizira zaštita integriteta podloge.
Komora za ispitivanje konstantne temperature visoke i niske temperature
Jezgra opreme automatizirane proizvodne linije za čišćenje i sušenje za proizvođače LCD zaslona integrira dvostruki način sušenja: rezanje zračnim nožem i sušenje toplim zrakom na konstantnoj-temperaturi. Ovo brzo uklanja mrlje od vode s površine podloge, postižući sušenje-bez vodenog žiga i-bez tragova. Nakon sušenja, sadržaj vlage na površini supstrata približava se nuli, što omogućuje izravan prijenos u sljedeći proces bez sekundarne obrade, osiguravajući kontinuitet procesa. PLC upravljački sustav omogućuje potpuno automatizirani rad zatvorene-petlje utovara, pozicioniranja, čišćenja i istovara. Podržava-nadzor u stvarnom vremenu i funkcije alarma za podešavanje koncentracije otopine za čišćenje, temperature, vlažnosti i čistoće. Zatvorena komora i gradijent negativnog tlaka sprječavaju curenje kemijskog plina. U kombinaciji s okolinom pozitivnog tlaka čiste sobe klase 100, također omogućuje recikliranje ultračiste vode i klasifikaciju i oporabu otpadne tekućine, ispunjavajući zahtjeve za -uštedu energije i zaštitu okoliša.
U usporedbi s tradicionalnim ručnim čišćenjem, potpuno automatizirane proizvodne linije PR čišćenja imaju nezamjenjive prednosti: učinkovitost čišćenja povećana je za više od 3 puta, a gotovo 10.000 staklenih podloga može se obraditi po smjeni, čime se značajno skraćuje procesni ciklus; dosljednost čišćenja je izvrsna, temeljito uklanja mikro-ostatke manje od 0,5 μm, kontrolira stopu oštećenja ploče na 0,5 PPM, učinkovito izbjegavajući nedostatke kao što su svijetle točke, tamne točke i prekidi strujnog kruga na zaslonu; oprema ima dizajn koji štedi vodu-i energiju-, s visokom stopom povrata čiste vode i klasificiranim prikupljanjem i obradom otpadnih voda, ispunjavajući proizvodne zahtjeve zaštite okoliša; cijeli je stroj izrađen od PVC-a-otpornog na koroziju i nehrđajućeg čelika SUS304, s jakim brtvljenjem, lakim čišćenjem i održavanjem, te je prikladan za 24-satni kontinuirani rad u čistim sobama, postajući standardna oprema za proizvođače LCD zaslona za izgradnju vrhunskih proizvodnih linija i povećanje osnovne konkurentnosti.
Osnovna oprema u fotolitografskoj radionici proizvođača LCD zaslona
Oprema za ekspoziciju je osnovna oprema u fotolitografskoj radionici i ključno procesno područje u procesu proizvodnje LCD polja. Također poznat kao stroj za panelnu litografiju, to je visoko-precizni optički uređaj za mokri postupak. Njegova je glavna funkcija prijenos uzorka dizajna strujnog kruga supstrata na staklenu podlogu presvučenu fotorezistom putem optičke ekspozicije, što je ključno za formiranje mikro-krugova u ploči. Precizan prijenos uzorka strujnog kruga s fotomaske na staklenu podlogu preduvjet je za naknadne procese jetkanja, premazivanja i PR čišćenja, izravno određujući kvalitetu zaslona zaslona. Oprema koristi be-kontaktni postupak izlaganja, prikladan za velike-veličine, tanke LCD staklene podloge, izbjegavajući ogrebotine podloge, oštećenja i kontaminaciju.
Osnovne tehnološke značajke uključuju visoko-precizni sustav poravnanja s mikronskom-razinom ili čak ispod-mikronskom-preciznošću preklapanja, osiguravajući nultu neusklađenost u više-slojnom slaganju krugova s pogreškama kontroliranim do unutar nekoliko tisućinki promjera vlasi; korištenje izvora svjetlosti jednolike ekspozicije i tehnologije dinamičkog fokusiranja za postizanje fluktuacija energije ekspozicije<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Cijela radionica koristi monokromatski žuti izvor svjetlosti od 589 nm, potpuno filtrirajući svjetlo kratke-valne duljine kao što je ultraljubičasto, plavo i bijelo svjetlo, sprječavajući te zrake da prerano pokrenu fotokemijske reakcije u fotootpornom materijalu, uzrokujući fatalne nedostatke kao što su neusklađenost uzorka, nepotpune linije, kratki spojevi i otvoreni krugovi. Sustav rasvjete koristi kombinaciju namjenskih žutih LED dioda i dvo-slojnih filtara za sprječavanje curenja zalutale svjetlosti; vrata, prozori i prozori za promatranje opremljeni su anti-ultraljubičastim filterskim materijalima; mobilni telefoni, kamere, jake-baterijske svjetiljke i drugi vanjski izvori svjetlosti strogo su zabranjeni unutar radionice, a potpuna-kontrola discipline rasvjete provodi se kako bi se uklonio rizik od preranog izlaganja fotootpornog materijala iz izvora.
Uvod u čiste sobe klase 100 za proizvođače LCD zaslona
U području visoko{0}}precizne proizvodnje LCD-a, čiste sobe klase 100 (ISO čiste sobe klase 5) temeljni su proizvodni pogon i ključni pokazatelj tehničke snage proizvođača i učinka proizvoda. Vodeće tvrtke za prikaze kao što su BOE, TCL CSOT, HKC i Tianma naširoko ih koriste u fazama temeljnog procesa kao što su nizovi, sastavljanje ćelija i pakiranje modula. Ove čiste sobe imaju stroge standarde čistoće, s ne više od 100 lebdećih čestica prašine Većih ili jednakih 0,5 μm u promjeru po kubičnoj stopi zraka (Manje od ili jednako 3520 po kubnom metru). Ova razina čistoće daleko premašuje onu u medicinskim operacijskim dvoranama, služeći kao "tvrda barijera" za sprječavanje prašine, statičkog elektriciteta i kemijskih kontaminanata da ometaju precizne procese. To je ključna hardverska komponenta koja izravno određuje kvalitetu slike na zaslonu, životni vijek i stopu prinosa.
Radionica je projektirana i izgrađena strogo u skladu s ISO međunarodnim i domaćim standardima. Usvaja vertikalni jednosmjerni način strujanja zraka, zajedno s četiri-stupanjskim ULPA sustavom filtriranja (pred-filtar, srednje-filtar, visoko-učinkoviti filtar i ultra-visoki-učinkoviti filtar), postižući učinkovitost filtriranja do 99,999%, osiguravajući trenutačno uklanjanje prašine i uklanjanje mrtvih zona protoka zraka. Istovremeno se postiže precizna kontrola okoline u svim dimenzijama: konstantna temperatura od 23±1 stupanj, relativna vlažnost kontrolirana na 45%-55%, pozitivno stanje tlaka koje se održava u čistom području i razlika tlaka veća od ili jednaka 10Pa između susjednih područja, potpuno sprječavajući infiltraciju vanjske prašine; uzimajući u obzir osjetljivost zaslonskih ploča na elektrostatička oštećenja, koriste se anti{15}}statički epoksidni samonivelirajući podovi, a za zidove i stropove koriste se nehrđajući čelik 304 i čelične ploče u boji čistih soba, uz strogu kontrolu vrijednosti statičkog elektriciteta tijekom cijelog procesa; pruža se dodatna kontrola za VOC kemijske zagađivače na molekularnoj-nizini i latentne smetnje kao što su mikrovibracije, ispunjavajući zahtjeve procesa nanorazmjera kao što su fotolitografija, taloženje tankog filma i ubrizgavanje tekućih kristala.
Radionica usvaja višeslojni plan zoniranja čistih prostorija, podijeljen na središnje područje klase 100, međupodručje klase 1000 i pomoćno područje klase 10.000, sa slojevima koji sprječavaju unakrsnu -kontaminaciju, a osoblje i automatizirane transportne linije materijala potpuno su odvojene. Osoblje mora proći trostruki postupak presvlačenja, zračnog tuša i elektrostatičke detekcije, i može ući samo nakon što-navuče kompletno odijelo za čistu sobu,-rukavice bez prašine i naočale; materijali se prenose kroz međusobno povezane prozore za prijenos i podvrgavaju se tretmanu za uklanjanje prašine i statičkog elektriciteta; unutrašnjost je opremljena poklopcima FFU laminarnog protoka, mrežnim brojačima čestica, senzorima temperature i vlažnosti, monitorima diferencijalnog tlaka i drugom opremom za postizanje 24-satnog praćenja u stvarnom vremenu i sljedivosti podataka, te će odmah izdati upozorenja i izvršiti prilagodbe u slučaju abnormalnih pokazatelja kako bi se osigurala stalna stabilnost okoliša.
